等离子体建模通常需要了解电子能量分布函数(EEDF)以及电子迁移率和扩散率等传递属性。
由于大功率 CO2 激光器的复杂泵浦机制,我们在分析中需要考虑许多物质和碰撞,因此,对这些器件中的等离子体特性进行建模成了一项具有挑战性的任务,而等离子体特性是这些器件优化的关键因素。应用多级方法,一名研究人员使用 COMSOL Multiphysics® 软件创建了 CO2 激光器平面放电的全三维模型。结果显示了放电的均匀性,同时为优化激光器设计提供了进一步的潜力。