静电吸盘

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本例模拟单极静电吸盘上 4 英寸晶圆的压力相关加热。该晶圆在环的顶部被静电力压住,以抵抗在晶片与吸盘表面之间的间隙中流动的气体产生的向上压力。这是一个包含 4 个耦合物理场(SM、ES、LF 和 HT)和动网格的问题,其中涉及静电力、流-固耦合及传热。 目前这是一个二维轴对称模型,但可以作为模拟在 e-chuck 表面具有更详细的气体通道的三维模型的参考。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:


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