氩/氧电容耦合等离子体反应器模型

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本教学案例求解氩气/氧气混合物中的一维电容耦合等离子体反应器,并讨论对电负性放电进行建模的重要方面和策略。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:


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