带射频偏压的氩/氯电感耦合等离子体反应器模型

Application ID: 110171


本教学案例求解氩/氯混合物中带有射频偏压的电感耦合等离子体反应器(也称为 ICP/CCP 反应器),其中计算了流体流动和气体加热,并讨论电负性放电建模的重要方面和策略。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:


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