偏压谐振器的固有模态 - 来自 GDS 文件的三维几何

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本教学案例演示如何使用“ECAD 导入模块”和“设计模块”基于 GDS 文件来构建三维偏压谐振器几何,其中模拟半导体和 MEMS 制造工艺,从而更有效地构建三维几何,该操作过程对于那些熟悉半导体和 MEMS 制造的人来说更加直观。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:


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