电容式微机械超声换能器集总模型

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本教学案例演示如何从 MEMS 换能器的 FEM 模型推导出其集总模型,其中包含电容式微机械超声换能器 (CMUT) 的 FEM 模型以及使用“集总机械系统”(LMS) 接口创建的相应集总模型,并通过“参数估计”研究得到 LMS 模型的参数。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:


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