微光刻透镜

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微光刻透镜用于将集成电路的图像投影到硅基板上。本教程演示如何创建一个 21 元素的熔融石英透镜,其 NA 为 0.56,设计用于 248nm 的波长。该透镜的总长度为 1 米,放大倍率为 -0.25,在 23.4mm 的像圈上具有出色的图像质量。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:


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