微光刻透镜
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微光刻透镜用于将集成电路的图像投影到硅基板上。本教程演示如何创建一个 21 元素的熔融石英透镜，其 NA 为 0.56，设计用于 248nm 的波长。该透镜的总长度为 1 米，放大倍率为 -0.25，在 23.4mm 的像圈上具有出色的图像质量。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL®产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。