ICP 反应器的线圈优化

Application ID: 96771


该模型演示如何使用形状优化来设计 ICP 反应器的线圈以获得均匀的等离子体。所研究的反应器是一个平面 ICP,其线圈沿径向分布。本例使用“优化”研究步骤来找到最佳线圈位置,以尽可能地减小反应器中心的电子密度梯度。此外,通过改变线圈功率,在反应器中心还获得了目标电子密度。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:


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