多层抗反射涂层

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抗反射涂层的最简单示例是厚度为四分之一波长的层,这种单层涂层的一大缺点是通常不存在实现低反射率所需的特定折射率的实用材料。 相比于单层涂层而言,使用多层组合可以减小宽得多的波长范围内的反射系数,同时支持使用更多种类的实际材料。在此模型中,对四分之一结构及四分之一的四分之一结构进行建模。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:


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