计算等离子体阻抗

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此教学案例演示如何计算电容耦合等离子体的阻抗。通过时间周期研究计算等离子体的时间周期解,随后,将解转换为时域解,再调用快速傅里叶变换 (FFT) 求解器,这样可以针对给定的一组输入参数计算等离子体阻抗,该阻抗值在设计匹配网络时非常有用。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:


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