盘式谐振器的锚损耗

Application ID: 21031


此模型介绍如何计算金刚石盘式谐振器的锚损受限品质因子。谐振器通过多晶硅柱锚接在基板上,功率通过该柱传递到基板,使用完美匹配层来表示本质上无限大的基板。此模型基于 2007 年在格勒诺布尔市举办的 COMSOL 用户年会分会场用户论文而建立:

P. Steeneken "Parameter Extraction and Support-Loss in MEMS Resonators", COMSOL Users Conference 2007, Grenoble

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:


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