阻抗匹配
Application ID: 54371
本教学案例在高功率和低功率下使用 L 型匹配网络驱动电容耦合等离子体。在低功率时，电流中的谐波较小，在选定功率值下可获得完美匹配。执行功率、频率和压力扫描，并研究它们对匹配功率传输比和效率的影响。最后，在较高功率范围内执行扫描，电流存在较大的谐波，导致阻抗失配。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。