面内微波等离子体
Application ID: 8664
微波加热导致的放电可以非常简单，例如使用波导将平面波引导到反应器中，也可以非常复杂，例如在 ECR（电子回旋共振）反应器中的放电。在本案例中，微波发射到反应器中，产生氩等离子体。微波被等离子体部分吸收和反射，维持等离子体。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL®产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。