MOSCAP 的界面陷阱效应

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本教学案例将文献中的实验数据与包含界面陷阱(表面状态)的 MOSCAP COMSOL 模型求解结果进行比较,其中使用“陷阱辅助表面复合”特征模拟陷阱电荷的影响以及陷阱捕获和发射载流子的过程,还分析了栅氧化层中固定电荷的影响。电容和电导计算值随栅压和频率变化的情况重现了采用同等量级的实验数据的定性状态。该模型采用准费米能级公式,并显示了如何绘制陷阱占有率等量随能量变化的情况。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:


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