电容耦合等离子体反应器中的离子能量分布函数

Application ID: 55041


此模型计算商用电容耦合等离子体反应器的离子能量分布函数 (IEDF),结果与实验数据非常一致。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:


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