梳驱动音叉式微速率陀螺仪中制造偏差的影响
Application ID: 89261
本教学案例由 Veryst Engineering, LLC. 的 James Ransley 博士提供。通过对基本模型“梳驱动音叉式微速率陀螺仪”（也由 Ransley 博士提供）进行扩展，演示如何在无需非常精细的网格的情况下，精确计算 MEMS 器件制造偏差的影响。这种高效的建模方法基于 COMSOL Multiphysics 独特的“变形几何”功能，其中使用相同的网格实现了由于制造缺陷导致的器件形状变化，从而消除了对不同的几何形状使用不同的网格时引入的误差。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
- COMSOL Multiphysics®和
- 以下模块之一：声学模块,MEMS 模块, 或结构力学模块
建模所需的 COMSOL®产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。