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在薄结构中产生弹簧状结构或引起曲率的一种方法是将结构电镀到受残余应力影响的基板上。

即使是类似的材料，电镀工艺也可以控制这一应力。静电控制微镜就是这样一种器件，这种器件通常非常小，并且其阵列可以在投影仪中实现。

本例介绍设置和求解预应力电镀器件剥离的基础知识，模型展示了大变形和多个预应力特征在“MEMS 模块”中的应用。