脉冲 CCP 放电

Application ID: 67251


本教学案例演示如何建立脉冲电容放电模型。导通脉冲包含 13.56 MHz 下的 10 个激励周期,以及后续 100 个无激励周期。本例研究 I-V 特性、电子密度、温度和等离子体电位。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:


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