固态装配谐振器(三维)

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固态装配谐振器 (SMR) 是一种压电 MEMS 谐振器,通常在厚基板上沉积声镜叠层制成。本教程演示如何在三维中模拟 SMR,其中通过附着在传感器表面的不同颗粒数来计算特征模态,分析灵敏度,并研究频率响应的相应变化。谐振频率随附着颗粒的增加而降低,并且灵敏度取决于相对于振型的附着位置 - 这两个观察结果都符合预期。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:


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