光子波导的应力-光学效应
Application ID: 190
二氧化硅 (SiO2) 中的平面光子波导在波长路由中具有巨大的应用潜力,这种波导的主要问题是存在双折射效应。各向异性折射率导致基膜拆分和脉冲展宽。本例的目标是通过调整材料和制造工艺将双折射效应降至最低程度。双折射效应的一个起因是使用硅 (Si) 晶片作为沉积波导结构的基质。
高温退火后,二氧化硅与硅层的热膨胀程度不同,导致结构在工作温度(通常为室温)下产生热应力。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型,包括:
- COMSOL Multiphysics®和
- 波动光学模块和
- 以下模块之一:MEMS 模块, 或结构力学模块
建模所需的 COMSOL®产品组合取决于多种因素,包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库,等等。不同模块可能具有相同的特定功能,详情可以查阅技术规格表,推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问,欢迎咨询COMSOL 销售和技术支持团队,我们会为您提供满意的答复。