声表面波气体传感器
Application ID: 2129
声表面波 (SAW) 是沿固体材料表面传播的声波，其振幅在材料深度方向上迅速衰减，通常呈指数衰减。
声表面波用于多种电子元件，包括滤波器、振荡器和传感器，声表面波器件通常将电极施加到压电材料，以便将电信号转换为声表面波，然后再转换回电信号，声表面波响应提供要使用此器件收集的信息。
此模型研究声表面波气体传感器的共振频率，该传感器由蚀刻在压电基片上的覆盖一层薄膜的叉指换能器组成，随着薄膜材料选择性地吸收空气中的化学物质，薄膜的质量增加，这导致共振频率略有下降，因此，有关空气中物种数量的信息也减少。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
- COMSOL Multiphysics®和
- 以下模块之一：声学模块,MEMS 模块, 或结构力学模块
建模所需的 COMSOL®产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。