受黏滞阻尼和热阻尼作用的振动微镜:瞬态特性

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微镜在某些 MEMS 器件中用于控制光学元件。该示例模型展示最初短时启动、然后呈现阻尼振动的微镜,

模拟被空气包围的振动微镜,并使用热黏性声学,瞬态 以及压力声学,瞬态 接口在时域中为流-固耦合建模。使用热黏性声学 接口有助于了解微镜相对于周围空气的黏滞阻尼和热阻尼的全部细节。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:


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