案例下载

本教学案例求解氩气/氧气混合物中的一维电容耦合等离子体反应器，并讨论对电负性放电进行建模的重要方面和策略。 扩展阅读

此教学案例演示如何计算电容耦合等离子体的阻抗。通过时间周期 研究计算等离子体的时间周期解，随后，将解转换为时域解，再调用快速傅里叶变换 (FFT) 求解器，这样可以针对给定的一组输入参数计算等离子体阻抗 ... 扩展阅读

求解玻尔兹曼方程可用于验证电子碰撞截面，传统方法是通过求解玻尔兹曼方程的两项近似，并将结果与群集实验进行比较来推断碰撞截面的集合。本模型求解了玻尔兹曼方程的两项近似，并将计算得到的漂移速度和电子温度与实验数据进行了比较。 扩展阅读

此模型模拟了具有氩/汞化学性质的无极灯。汞原子的激发阈值较低，意味着即使汞的浓度很低，其特性也占主导地位。等离子体在 185 nm 和 253 nm 处发射出强紫外线，继而激发涂在灯泡表面的荧光粉。从电路角度来看 ... 扩展阅读

流注放电是瞬态丝状放电，在存在强电场的情况下，可以在非导电背景中发展，这种放电可以获得较高的电子数密度，并因此获得与许多应用相关的高浓度化学活性物质。工业应用包括臭氧生成、污染控制以及表面处理。 ... 扩展阅读

本模型通过求解两项近似玻尔兹曼方程来研究氮气和氧气混合物（背景干空气），并通过在电子碰撞截面上对电子能量分布函数进行适当积分来计算电子传递系数和源项。此外，本例还演示如何准备可导出的电子能量分布函数，以便用于“等离子体 ... 扩展阅读

含氯的等离子体放电通常用于微电子制造中半导体和金属的蚀刻。 本教学案例利用全局（体积平均）扩散模型研究氯等离子体放电，使用全局扩散模型运行仿真所需的时间比运行空间相关模型所需时间少得多，因此 ... 扩展阅读

本例举例说明如何模拟终端 边界条件下电流和电压激励之间的切换。有关这一现象的更详细描述以及建模过程，请参阅博客文章“使用 AC/DC 模块控制电流和电压源”。 扩展阅读

电容耦合射频放电可以在两种不同的状态下工作，具体取决于放电功率。在低功率状态（称为 α 态）下，电场振荡导致产生热量，并产生电子。在高功率状态（称为 γ 态）下，放电主要由鞘层内的电子雪崩维持 ... 扩展阅读

本教学案例通过求解与经典的两项近似法中的均质、瞬态电子玻尔兹曼方程全耦合的等离子体流体类型方程，对 ICP 反应器进行建模。针对空间的每个位置求解近似的玻尔兹曼方程，并通过电子平均能量将其与流体类型方程相耦合 ... 扩展阅读