基于 COMSOL 的激光抛光过程仿真与机理分析

沈洪 [1],
[1] 上海交通大学,上海,中国
发布日期 2016

作为一项重要的材料表面处理技术,抛光直接影响着材料表面粗糙度等表面质量评价参数。随着微纳技术和精密制造的发展,工业应用中对材料表面粗糙度的要求越来越高,对抛光技术的综合要求也随之越来越高。然而,一些传统抛光方法的弊端日益凸显,无法再满足工业需要。激光抛光作为一种非接触式抛光技术,避免了传统抛光技术的磨痕,作用区域可控,可以对选定的区域进行局部抛光,也可以对复杂结构、机械不可达或难接近结构进行抛光。本文基于传热学和流体力学的基础理论,利用多物理场耦合有限元软件 COMSOL Multiphysics®,建立激光抛光过程的热-流-自由液面变形有限元模型,分析了表面张力和 Marangoni 效应对自由液面变形的影响规律,阐明激光抛光的主导机制。

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