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通过COMSOL多物理场仿真软件，采用磁流体近似模型，进行等离子体模型建立时，首先建立二维轴对称几何模型，定义内置材料，设置等离子体内部反应方程式以及边界条件，其次进行网格剖分，最后通过研究和计算，得出仿真结果，从而对一维绘图和二维绘图进行研究。 在对等离子体模块进行学习过程中，学习COMSOL案例库中等离子体模块中直流放电“positivecolumn2d”模型和电感耦合等离子体“argongecicp”模型，对自己理解等离子体模块帮助很大。 此项关于等离子体破缺性研究的过程中，使用等离子体模块，根据不同的内部气体压强的变化，内部反应放电达到稳定之后等离子体的分布特征将发生变化。分别设置几种不同内部气体压强。当放电达到稳定之后，对特征参数进行分析和比较，从而研究内部气体压强的变化对等离子体内部电子数密度分布的影响。结果表明，随着内部反应气体压强的增加，电子数密度由低气压时的一个高密度中心，逐渐向阴极两侧扩散，形成两个高密度中心，并且呈不对称分布，这种结果对进一步深入研究粒子的最佳引出方式提供了参考。 通过等离子体模块的学习，目前已在EI会议等学术会议发表相关论文2篇。等离子体可以方便地处理众多工程领域内部常见的非平衡放电问题，直接地、方便地反映内部放电过程。