等离子体模块更新

COMSOL Multiphysics®6.1 版本为“等离子体模块”的用户带来了新的功能,现在可以模拟具有周期性射频偏压的耦合等离子体反应器,新增了等离子体化学插件,可基于文本文件为模型创建完整的等离子体化学体系,并添加了四个新的教学案例。请阅读以下内容,进一步了解这些更新。

多物理场接口:带射频偏压的电感耦合等离子体

新的带射频偏压的电感耦合等离子体多物理场接口将等离子体,时间周期磁场接口相耦合,以模拟具有电容射频周期性激励的电感耦合等离子体 (ICP) 反应器。其中在频域求解磁场,并求解周期稳态的等离子体输运方程。该接口专用于模拟具有电感和电容功率耦合机制的等离子体反应器,您可以在新的带射频偏压的氩和氯电感耦合等离子体反应器模型中查看其应用演示。

以 Thermal Wave 和 Prism 颜色表显示的反应器模型。
在氩和氯混合物中运行的带射频偏压的电感耦合等离子体反应器的仿真结果。

等离子体化学插件

等离子体化学插件可以使用等离子体等离子体,时间周期接口基于文本文件自动创建出完整的等离子体化学。借助该插件,您可以在文件中指定等离子体化学的各个方面,例如热力学参数等物质属性、基于横截面积和速率常数的电子碰撞反应、重物质反应和表面反应。以下新模型使用了这一特征:

“模型开发器”的特写视图,其中突出显示“等离子体化学”节点,并显示其对应的“设置”窗口,右侧打开了一个记事本窗口。
等离子体化学插件(左)用于导入一个氩-氯等离子体化学文件(右),其中等离子体特征由插件自动创建。

新的教学案例

COMSOL Multiphysics®6.1 版本的“等离子体模块”添加了四个新的教学案例。

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