深入了解用于产生声流效应的压电材料

G. Potter
SUNY Albany, NY, USA

微流控器件是许多传感器的关键,例如流量传感器以及用于医学诊断的传感器。但由于其尺寸很小,使得流体的混合与抽取变得极具挑战性。作为传统驱动方法的替代方法,表面声波(SAW)可用来产生流体流动。在 SUNY Albany 和 SEMATECH 合作中,研究人员创建了模型并模拟了集成叉指换能器(IDT)结构,以及压电基片结构和 SAM 产生的谐波振动。他们使用 COMSOL Multiphysics 软件对影响器件几何优化的因素进行了研究,比如声流响应和谐振频率。他们通过仿真结果,证实了 SAW 的垂直位移越大对应的流动速度越高,而且他们的仿真结果与实验测量结果相吻合。

仿真结果显示了谐振时表面声波(SAW)的垂直位移和位移场。

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