主题演讲：环形变压器耦合等离子体仿真

等离子体具有的独特性质使其特别适合半导体制造，各种形式的低温等离子体已被广泛应用于半导体制造工艺中。

在 ：半导体制造的主题演讲中，Ilya Pokidov 简要介绍了低温等离子体在材料加工中的应用，并对原位 等离子体和远程等离子体进行了比较。Pokidov 还讨论了使用 COMSOL Multiphysics^®软件对环形变压器耦合等离子体进行仿真的结果，并重点介绍了对结果进行优化的方法，以更接近理论和已公布的数据。

Ilya Pokidov 是 MKS Instruments 公司等离子体和反应气体解决方案部门的资深首席机械工程师，获得美国 Northeastern 大学机械工程硕士学位。