MEMS 加速度计的静电吸合效应仿真分析

在 2024 年 COMSOL 微电子器件主题日的主题演讲视频中，来自上海矽睿科技股份有限公司的安兴介绍了 MEMS 加速度计中的静电吸合效应仿真。随着 MEMS 惯性传感器尺寸越来越小，在挑战工艺极限的同时也对系统稳定性提出很高的要求。电容检测式加速度计极板间的关键尺寸越小，灵敏度越高，同时静电吸合的风险也越大。本次演讲介绍了 MEMS 加速度计的静电激励微结构设计，并将吸合效应的 COMSOL 仿真结果与实测数据进行对比验证。