5G 通信 MEMS 滤波器振动模态仿真和测量

在 2024 年 COMSOL 微电子器件主题日的主题演讲视频中，来自上海交通大学的邵磊介绍了 COMSOL 在 MEMS 谐振器超高频振动模态研究中的应用。由于 5G 滤波器中超高频振动器件存在品质因子低、杂散振动多、机电耦合系数低等难点问题，在 4 – 6 GHz 范围内少有性能优异的产品。本次演讲介绍了 MEMS 谐振器的测量表征和仿真分析等工作，对比了实验和 COMSOL 仿真结果，提出了杂散振动模态的动态行为和演变规律，为这类关键器件的设计优化提出了新理论和方法。