MEMS 执行器的多物理场仿真

微机电系统（MEMS）涉及多个物理领域，包括：电磁、结构、传热、流体等。MEMS 器件根据功能分类为执行器、传感器和微流控等类别。本次研讨会将介绍常见的 MEMS 执行器，包括不同类型、工程应用领域、各自的工作原理，等等。我们将着重介绍如何使用 COMSOL Multiphysics® 对 MEMS 执行器进行电、热、力、流等多物理场耦合的建模仿真，通过仿真了解其工作原理、预测性能，以及进行优化设计。我们还可以将有限元仿真模型与控制电路耦合起来，实现场路耦合建模。借助于多物理场仿真分析，我们可以优化其设计，获得性能可靠的 MEMS 执行器。在本次网络研讨会中，我们将通过演示操作说明此类建模的要点及注意事项。

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