MEMS 器件的多物理场建模和仿真
时长: 57:46
观看网络研讨会视频,了解如何在 COMSOL 软件中模拟 MEMS 器件,如传感器、谐振器等。
相关案例:
电容式压力传感器压电剪切驱动梁表面微机械加速度计梳驱动音叉式微速率陀螺仪
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