使用 COMSOL Multiphysics®模拟 MEMS 加速度计和陀螺仪

本次视频展示了如何使用 COMSOL Multiphysics®软件对 MEMS 加速度计和陀螺仪进行仿真,还通过典型案例的演示,说明 COMSOL 软件对涉及静电和固体力学耦合的此类 MEMS 器件的仿真步骤。

相关案例:

表面微机械加速度计压电速率陀螺仪梳驱动音叉式微速率陀螺仪

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