CO2 激光器平面放电建模的多级方法

2017年 4月 24日

由于大功率 CO激光器的复杂泵浦机制,我们在分析中需要考虑许多物质和碰撞,因此,对这些器件中的等离子体特性进行建模成了一项具有挑战性的任务,而等离子体特性是这些器件优化的关键因素。应用多级方法,一名研究人员使用 COMSOL Multiphysics® 软件创建了 CO激光器平面放电的全三维模型。结果显示了放电的均匀性,同时为优化激光器设计提供了进一步的潜力。

等离子体特性在 CO激光器中的重要性

CO激光器在 1964 年首次出现时,代表了同类激光器中最早的一种——气体激光器。从那时起,这些大功率器件已广泛用于材料加工应用,如金属板切割和焊接。

随着这些领域的不断发展和向新应用领域延伸的目标的出现,提高 CO激光器的功率和稳定性成为重点问题。这种优化的一个关键因素是激光器内部等离子体特性的建模。这些分析有助于改善(比方说)激光器内的气体动力学、冷却设计;以及我们将在本文详细讨论的放电的均匀性。

设想一个如下所示的扩散冷却板条激光器设计。在这种构型中,等离子体在两个平面电极之间形成,这两个平面电极用作光波导并冷却气体。
扩散冷却板条激光器设计示意图。
扩散冷却板条激光器设计。图片由 J.Schüttler 提供,取自他在 COMSOL 用户年会 2016 慕尼黑站的论文

像其他 CO激光器一样,该设计包含复杂的泵浦机制,因此,需要考虑大物质和碰撞。从建模的角度来看,这产生了一个复杂的多物理场问题,很难在一定的时间内解决。

为了使这个问题更易于解决,德国 Rofin-Sinar Laser GmbH 的一名研究人员使用多级方法在 CO激光器中创建了平面放电的全三维模型。虽然模型本身相当先进,但它是 COMSOL Multiphysics 具备灵活性和功能性的一个很好的例子。

用多级方法模拟平面放电

1.分析等离子体的稳态特性

上图所示的激光器构型包含由六种成分组成的预混合气体,它们一起被设计用于提供有效的冷却和长期稳定性。下表是每种成分的概述。

气体 体积 功能
He 65% 冷却
Xe 3% 预电离
O2 3% 电子附着
N2 19% 共振能量转移到 CO2
CO2 4% 激光跃迁
CO 6% 长期稳定性

由于涉及大量物质,电子能量分布函数(EEDF)不是先验已知 的。为了计算 EEDF,以及预混合气体的降低的输运属性和反应速率系数,研究人员使用了玻尔兹曼方程,两项近似 接口。

在下图中,我们可以看到不同电场减小时的附着率和电离率。这些结果用作后续仿真步骤的插值函数。
描绘变化的约化电场的附着率和电离率系数的绘图。
变化的约化电场的附着率系数(绿色)和电离率系数(红色)。红色箭头表示附着和电离平衡时的约化电场值。图片由 J.Schüttler 提供,取自他在 COMSOL 用户年会 2016 慕尼黑站的论文。

2.检查电极间隙中的气体放电特性

为了模拟放电,研究人员使用了等离子体 接口。下图描绘了一维模型的几何结构及其边界条件。一维域以电极表面(和 g)和介电材料涂层(和 f)为边界。区间 表示定义等离子体模型、反应和物质的点。

有关如何模拟介质阻挡放电的详细信息,请参阅“案例下载”页面的这个示例

一维放电几何结构图,其中包含其边界条件。
一维放电几何结构。图片由 J.Schüttler 提供,取自他在 COMSOL 用户年会 2016 慕尼黑站的论文。

请注意,为了准确地描述放电行为,气体温度必须根据放电过程中消散的热量自洽。因为最大温度仅取决于间隙内的平均热源,所以使用了人工时标 T(z, Qm。这确保了气体温度快速收敛到准稳态解。

放电间隙中电子密度时空演变的例子如下所示。几个射频周期之后,放电开始,电子密度从低预电离迅速增加到更显著的水平。一段时间后,电子密度和温度达到几乎稳定的状态。
放电间隙中电子密度时空演变的一个例子。
放电间隙内电子密度的时空演变。图片由 J.Schüttler 提供,取自他在 COMSOL 用户年会 2016 慕尼黑站的论文。

另外还获得了有关各种放电特性的重要结果,包括终端电压。注意标有 NDR 的区域,它代表负微分电阻。这种热效应是由等离子体点火超过阈值电压的非线性特性引起的,是放电的一个重要特征——只能在温度的自洽计算中观察到。对于指定的终端电压,该区域的解是双稳态的。同样,该信息可以用作三维仿真的输入。
外加终端电流密度上的电压图。
外加终端电流密度上的电压。图片由 J.Schüttler 提供,取自 COMSOL 用户年会 2016 慕尼黑站的论文。

3.在大规模射频仿真中使用响应曲线

在大规模射频仿真中重现这种现象需要设计替代材料。这种材料用置于电极之间的强非线性导电材料片代替等离子体放电。注意,在每一侧,材料片与电极都相隔一段距离(ds)。
替代等离子体放电的替代材料的示意图。
替代材料的设置。图片由 J.Schüttler 提供,取自他在 COMSOL 用户年会 2016 慕尼黑站的论文。

当计算双稳态区域中两种溶液沿放电间隙的电势时,两种溶液——含点火的等离子体(蓝色)和不含点火的等离子体(红色)——在终端边界条件下具有相同的电势,然而,它们的电场不同。这些唯一解可以通过任一电极表面的电场得出。
终端电压歧义解的绘图。
终端电压的歧义解。图片由 J.Schüttler 提供,取自 COMSOL 用户年会 2016 慕尼黑站的论文。

通过电流 接口执行的参数化研究表明,终端边界条件下电压与电流之间的最小相位角仅取决于间隙距离。稍后设置的插值函数表示与等离子体仿真中描述的相同的依赖关系。
描述插值函数用作替代材料的图。
用作替代材料的插值函数。图片由 J.Schüttler 提供,取自他在 COMSOL 用户年会 2016 慕尼黑站的论文。

在三维中求解宏观射频仿真需要使用电磁波 接口和频域求解器。该域包含封装在结构内的气体体积和由介电材料组成的一些域。射频功率应用于电极一个长边附近的若干同轴端口的计算域。网格由 913,564 个单元组成,这导致 6,737,446 个自由度。

CO设计仿真结果评估

我们已经回顾了这个方法,现在来看看结果。

在下面的例子中,我们可以看到气体放电的电流密度分布,可以看出,放电在约 10% 的范围内是均匀的。与各种参数方案和构型的实验观察结果相比,仿真结果显示出良好的一致性。
COMSOL Multiphysics® 中气体放电电流密度分布的仿真结果。
放电的电流密度分布。图片由 J.Schüttler 提供,取自他在 COMSOL 用户年会 2016 慕尼黑站的论文。

对这种建模方法的验证促使其在随后的开发任务中使用,包括设计新的射频馈入和预测其他类型气体成分的稳定工作点。至于这个特定的模型,未来计划进一步扩展它,以解决点火阶段的时间演变。这不仅可以分析激光器开启时的压力变化,还可以改善激光器在脉冲操作中的性能。

用 COMSOL Multiphysics® 模拟大功率激光器系统的资源


评论 (0)

正在加载...
浏览 COMSOL 博客
Baidu
map