偶极微波等离子体源
Application ID: 10512
此模型提出了通过电子的共振加热维持的二维轴对称偶极微波等离子体源，这称为电子回旋共振 (ECR)，在适当的高磁通密度与微波同时存在时发生。
这是一个高级模型，展示 COMSOL 的多项独特功能，包括：
- 用于静磁模型的无限元。
- 基于功能的网格自适应，可在 ECR 表面上创建细化网格。
- 用于表示电磁波的 PML
- 高频电场所有 3 个分量的自由度（虽然事实上是几何轴对称问题）。
- 用于等离子体电导率和带电颗粒传递属性的全各向异性张量。
- ECR 表面的电子共振功率吸收。
- 基于方程建模，使用集成物理量来确定总吸收功率。
- 求解器求解顺序为先计算静磁场，然后求解所有等离子体分量。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。