ICP 反应器，氩化学 - 三维
Application ID: 8661
在 COMSOL 中可以执行三维等离子体建模。一个方形线圈置于电介质窗顶部，并受到 13.56 MHz 的电激励。等离子体在电介质窗下方的腔室中形成。腔室中含有低压 (20 mtorr) 氩气，气体从两个 2 英寸端口流入处理室，并通过一个 4 英寸端口被抽出。等离子体通过电磁感应来维持，功率从电磁场传递到电子。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。