二维偏压谐振器：稳态，特征频率，频域和吸合分析
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硅微机械谐振器长期以来一直用于设计传感器，如今作为消费电子市场的振荡器变得越来越重要。这一系列模型详细分析了作为微机械滤波器一部分的表面微机械 MEMS 谐振器。
“偏压谐振器的稳态分析”模型对施加直流偏压的谐振器执行稳态分析，它用作所有后续分析的基础，下面简要介绍了这些后续分析。
- “偏压谐振器频率响应”模型对结构执行频域分析，该结构随着其工作直流偏压也发生偏移。
- “偏压谐振器的固有模态”模型对施加和不施加直流偏压的谐振器执行模态分析。
- “偏压谐振器的吸合电压”模型对结构执行吸合分析，来预测偏置系统变得不稳定的点。
- “偏压谐振器的瞬态响应”模型对向谐振器应用阶跃函数时结构的响应执行瞬态分析。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL®产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。