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表面等离子体共振（SPR）由表面等离子体产生，因为任何两个材料之间存在相干电子振荡，而介电函数的实部会改变整个表面上的信号。SPR 技术是基于入射光透入一个表面上的电磁场分量，也可用于检测表面上的分子吸附。等离子体激发通常存在两种配置：Kretschmann-Raether 配置（其中一个薄金属膜置于电介质和空气之间，而且入射波来自电介质一侧）和 Otto 配置（其中电介质和金属之间存在气隙）。使用 COMSOL Multiphysics 软件，可以对电磁场上的 SPR 效果进行定义，这样有利于表面污染物和纳米光子器件的测量。