机电效应的多物理场建模和仿真

本次研讨会着重讨论机电效应的耦合建模仿真机制和实现方法,针对不同的应用讲解其建模流程。具体内容包括:

  • 机电效应中的三场耦合
  • 机电接口的边界条件
  • 静态分析-驱动和传感
  • 机电开关的吸合与释放
  • 预应力谐振分析-模态和响应

相关案例:

静电驱动悬臂梁表面微机械加速度计几何RF MEMS 开关的吸合电容式压力传感器

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