容性耦合等离子体的建模

容性耦合等离子体（也称电容耦合等离子体，CCP），是一种以交变的静电场加速电子，以静电耦合的方式获得等离子体源的产生方式。由于其达到稳定状态需要很多个周期，传统的瞬态建模方法需要大量的计算时间。COMSOL^® 软件为容性耦合等离子体的建模仿真提供了一种革命性的新算法，与传统的建模方法相比，这种基于周期性准稳态解的方法能够数十倍甚至数百倍地提升计算效率，研究对象包括单频、存在倍频关系的双频容性耦合等离子体。此外，这种方法还可计算直流自偏压，并且可以很方便的定义匹配电路。在提高计算效率的同时，还求解了静电以及物质之间的非线性耦合现象，用户可以很方便地进行多物理场耦合建模，无需对电容耦合等离子体问题进行任何简化和假设。

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